衍射光學(xué)元件由于其特殊的性質(zhì)在各種光學(xué)系統(tǒng)中得到了越來越多的發(fā)展和應(yīng)用。對(duì)于成像光學(xué)系統(tǒng)中的衍射光學(xué)元件,通常采用單點(diǎn)金剛石車削的方法加工。在衍射光學(xué)元件加工的過程中,難免會(huì)產(chǎn)生***些加工誤差影響衍射效率。

衍射效率是評(píng)價(jià)衍射光學(xué)元件以及含有衍射光學(xué)元件的折衍射混合光學(xué)系統(tǒng)的重要指標(biāo)之***。光線通過衍射光學(xué)元件后,會(huì)產(chǎn)生多個(gè)衍射***次,***般只是關(guān)注主衍射***次的光線,其他衍射***次的光線在主衍射***像面上形成雜散光,降低像面的對(duì)比度。因此,衍射光學(xué)元件的衍射效率直接影響到衍射光學(xué)元件的成像質(zhì)量,對(duì)衍射光學(xué)元件衍射效率的準(zhǔn)確測量是十分必要的。

根據(jù)標(biāo)量衍射理論,當(dāng)光束從衍射光學(xué)元件的基底材料斜入射到空氣中時(shí),單層衍射光學(xué)元件的第m衍射***次的衍射效率為

m 為衍射***次，d為衍射光學(xué)元件的表面微結(jié)構(gòu)高度，n（λ）為衍射光學(xué)元件的基底材料在波長為λ時(shí)的折射率。從式中可以看出，單層衍射光學(xué)元件的衍射效率只在設(shè)計(jì)波長處具有***的衍射效率；當(dāng)偏離設(shè)計(jì)波長時(shí)，衍射光學(xué)元件的衍射效率會(huì)明顯下降。

ARS角分辨散射測量可實(shí)現(xiàn)不同類型的衍射光柵測量，通過不同衍射***的光散射分布計(jì)算得到衍射效率。

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