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半導體／FPD檢查顯微鏡 MX61L 規格

Olympus MX61L是對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用），可以應對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調節連動的亮度光圈等，實現了舒適的檢查環境。配備14×12英寸載物臺，能應對大型樣本。 

UIS 2物鏡生成鮮明的觀察影像 
UIS2物鏡擁有各種倍率、特殊用途物鏡等豐富的產品陣容，可按照用途選用。另外，波像差控制帶來的高品質，忠實于樣本的中性色彩顯示等，UIS2物鏡無論是在目視觀察中還是在數碼影像觀察中都能發揮它的卓越性能。 

主要操作集中配置在前面板上 
在對比度的決定上起重要作用的亮度光圈（AS）的開閉調節，與物鏡的切換和觀察模式連動，用***個按鈕就可以操作。此外，用***個手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和亮度光圈（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。 

觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒 
為了適應視點而調整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這***款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。 

安全快速的搬運晶圓 
MX61L能與自動晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執行從內面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。 
*自動晶圓搬送機AL110 詳情請點擊： http://www.recotech.com.cn/product_details.aspx?pid=48 

快速切換物鏡，提高檢查速度 
電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。 

變換物鏡，亮度光圈（AS）也隨之調節 
每次變換物鏡時都需要調節亮度光圈（AS）的話，會影響檢查速度。MX61L對每個物鏡都可以設置觀察方法和AS（14***），只要切換物鏡就能以***合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調節AS，提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。 

高靈敏度載物臺可以迅速決定位置 
對應300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內置離合器的載物臺夾子，可切換粗調和細調。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，快速完成檢查。 

使用數碼照相機記錄和保存數碼影像 
三目鏡筒可以安裝數碼照相機。可以保存和記錄數碼影像，幫助創建觀察報告。可依據用途從圖像質量、功能、使用方便性等方面選擇數碼照相機。