德國AIXUV極紫外光源與光柵(UV)
價 格:詢價
產 地:德國更新時間:2020-10-19 10:52
品 牌:AIXUV型 號:
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1.安裝簡單,操作方便;
2.自成獨立系統,可通過鋯窗與應用真空系統隔離;
3.參數安全設定,符合CE標準;
4.可持久工作,維護費用低(只需電源和氙氣)。
德***AixUV公司是世界上第******提供商用實驗室極紫外光源的廠***。公司面向世界范圍提供基于等離子體技術的極紫外光,遠紫外光和X射線產品。
極紫外光(XUV)的波長在1納米到50納米之間,包括了通常所說的軟X射線和遠紫外光(EUV)。
廣泛用于:
●納米電子器件的實驗室制作
●納米電子工業的光刻和工藝優化(如光刻膠優化)
●作為比同步輻射更強烈的光源用于表面物理和表面化學分析研究
產品參數
1.2 J / pulse electrical input
2.> 0.4 mJ / sr / pulse EUV inband
3.< 500 mm source diameter FWHM
4.> 50 Hz Reprate
5.Permanent operation 7 days / 24 h
6.Guaranteed 100.000.000 pulses;
Tested up to 230.000.000(> 1200 hours)
7.Flexible head orientation