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FMA-2601A-V2_FMA-2601A-VOL_FMA-2602A-I_FMA-2602A-I2_FMA-2614A-I流量控制器OMEGA

20多種氣體校準(zhǔn)，包括氦氣、氧氣、氖氣、***氧化二氮、氮?dú)狻⒋髿狻鍤狻?**氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、氫氣、丙烷、丁烷、異丁烷、乙烯、乙炔、氪氣、氙氣、六氟化硫

同時(shí)顯示壓力、溫度、體積以及質(zhì)量流量

簡單易用的按鈕界面

NIST 可溯源性標(biāo)準(zhǔn)

滿量程范圍：0.5 SCCM ~ 3000 LPM

常規(guī)響應(yīng)時(shí)間：50 ~ 100 毫秒

常規(guī)量程比：100:1

位置不敏感

±0.8%讀數(shù)精度

標(biāo)配RS232

FMA-2601A-V2_FMA-2601A-VOL_FMA-2602A-I_FMA-2602A-I2_FMA-2614A-I流量控制器OMEGA

20多種氣體校準(zhǔn)，包括氦氣、氧氣、氖氣、一氧化二氮、氮?dú)狻⒋髿狻鍤狻⒁谎趸肌⒍趸肌⒓淄椤⒁彝椤錃狻⒈椤⒍⊥椤惗⊥椤⒁蚁⒁胰病㈦礆狻㈦瘹狻⒘?/p>

同時(shí)顯示壓力、溫度、體積以及質(zhì)量流量

簡單易用的按鈕界面

NIST 可溯源性標(biāo)準(zhǔn)

滿量程范圍：0.5 SCCM ~ 3000 LPM

常規(guī)響應(yīng)時(shí)間：50 ~ 100 毫秒

常規(guī)量程比：100:1

位置不敏感

±0.8%讀數(shù)精度

標(biāo)配RS232

FMA-2600A系列質(zhì)量與體積流量控制器在層流場(chǎng)中使用差壓原則來確定和控制質(zhì)量流速。流量計(jì)中的層流元件(LFE)迫使氣體進(jìn)入層流。泊肅葉方程規(guī)定， 在這一區(qū)域體積流速與壓力下降呈線性關(guān)系。使用壓差傳感器衡量LFE固定距離中的壓力下降情況。同時(shí)結(jié)合氣體的粘度準(zhǔn)確判定體積流速。引入單獨(dú)的絕對(duì)溫度和壓力傳感器，并根據(jù)一系列標(biāo)準(zhǔn)條件糾正氣體流速。這種標(biāo)準(zhǔn)流速俗稱質(zhì)量流速，并使用每分鐘標(biāo)準(zhǔn)立方英尺(SCFM)或每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升(SLM)等單位表示。

該控制器采用連接到流體的真正比例閥，通過一體化PID回路控制器控制流體。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備包括0 ~ 5 V輸出（可選4 ~ 20 mA）和RS232通訊。可通過前面板鍵盤或RS232通訊調(diào)整氣體選擇功能和設(shè)定值。體積 流量、質(zhì)量流量、絕對(duì)壓力以及溫度均可以通過RS232連接查看或記錄。同時(shí)，在距離為46 m (150')的同一串口連接上，最多可與26臺(tái)設(shè)備進(jìn)行多點(diǎn)通訊

規(guī)格:

精度: ±（讀數(shù)的0.8% + 滿量程的0.2%）

重復(fù)性: 滿量程的±0.2%

量程比： 100:1

控制響應(yīng)時(shí)間: 100 ms

輸入控制信號(hào): 0 ~ 5 Vdc, RS232

輸出信號(hào): 0 ~ 5 Vdc, RS232

可選輸入/輸出: 4 ~ 20 mA, 0 ~ 10 Vdc

工作溫度: 10 ~ 50°C (14 ~ 50.00°C)

零點(diǎn)偏移: 滿量程的0.02%/°C

量程偏移: 滿量程的0.02%/°C

濕度量程: 0 ~ 100% RH，無冷凝

附加流速: 滿量程的2.4%

接液材質(zhì)：303和302不銹鋼、氟橡膠、硅酮RTV（橡膠）、玻璃強(qiáng)化型尼龍、鋁、銅、410不銹鋼、硅酮、玻璃；>250 SLM：416不銹鋼和鎳替換銅

最大壓力

質(zhì)量流量控制器: 145 psig

使用體積模式: 使用體積模式：近大氣，建議最大15 psig。

體積流量計(jì)和控制器不保證超出流量計(jì)額定流量范圍的質(zhì)量流速的準(zhǔn)確性。這些值僅適用于近大氣壓力條件。建議最大工作壓力為15 psig

額定最小壓差: 5 SLM 及以下: 5 psid; 10 ~ 250 SLM: 15 psid; 500 SLM: 5 psid; 1500 SLM: 10 psid

電源電流: 20 SLM及以下0.250 A；50 SLM及以上0.75 A（常規(guī)）

電源電壓: 20 SLM及更小的設(shè)備12 ~ 30 Vdc；50 SLM及更大的設(shè)備24 ~ 30 Vdc

電氣連接: 8針圓形迷你DIN

FMA-2601A-V2_FMA-2601A-VOL_FMA-2602A-I_FMA-2602A-I2_FMA-2614A-I流量控制器OMEGA

20多種氣體校準(zhǔn)，包括氦氣、氧氣、氖氣、***氧化二氮、氮?dú)狻⒋髿狻鍤狻?**氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、氫氣、丙烷、丁烷、異丁烷、乙烯、乙炔、氪氣、氙氣、六氟化硫

同時(shí)顯示壓力、溫度、體積以及質(zhì)量流量

簡單易用的按鈕界面

NIST 可溯源性標(biāo)準(zhǔn)

滿量程范圍：0.5 SCCM ~ 3000 LPM

常規(guī)響應(yīng)時(shí)間：50 ~ 100 毫秒

常規(guī)量程比：100:1

位置不敏感

±0.8%讀數(shù)精度

標(biāo)配RS232

FMA-2600A系列質(zhì)量與體積流量控制器在層流場(chǎng)中使用差壓原則來確定和控制質(zhì)量流速。流量計(jì)中的層流元件(LFE)迫使氣體進(jìn)入層流。泊肅葉方程規(guī)定， 在這***區(qū)域體積流速與壓力下降呈線性關(guān)系。使用壓差傳感器衡量LFE固定距離中的壓力下降情況。同時(shí)結(jié)合氣體的粘度準(zhǔn)確判定體積流速。引入單獨(dú)的絕對(duì)溫度和壓力傳感器，并根據(jù)***系列標(biāo)準(zhǔn)條件糾正氣體流速。這種標(biāo)準(zhǔn)流速俗稱質(zhì)量流速，并使用每分鐘標(biāo)準(zhǔn)立方英尺(SCFM)或每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升(SLM)等單位表示。