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MicronX 設(shè)計的有如下特點：
精密的光學(xué)系統(tǒng)
變焦， 激光輔助聚焦， 和計算機發(fā)生的十字線能對極小的部件和結(jié)構(gòu)精密定位。
應(yīng)用界面的設(shè)計者
用戶可用圖標板創(chuàng)建專用的應(yīng)用界面。
報告樣板
創(chuàng)建用戶的報告格式或者摁***鍵選用***種專業(yè)的質(zhì)量報告。
XYZ樣品臺和2M/3M分布圖
可編程選項和部件固定的自動成批測量。
圖案識別
自動快速和精確。
統(tǒng)計工具
包括平均值， 標準偏差， 百分偏差，Pp/Ppk， Min/Max， 直方圖, 趨勢線，和R-圖。 可將數(shù)據(jù)傳入Excel和其它程序。
部件號編碼
可選用部件號或工號為應(yīng)用編碼。
 

更小,更快,更薄
MicronX系統(tǒng)是專門為靈活應(yīng)用設(shè)計的強有力的測量工具。使用Thermo獨創(chuàng)的， 技術(shù)先進的硬件和軟件， MicronX系統(tǒng)能夠比其它EDXRF儀器測量更小的面積， 更薄的鍍層并且更快。 MicronX系統(tǒng)能夠接受***多的金屬薄膜測量的挑戰(zhàn)。
X-射線能譜技術(shù)方面幾十年的經(jīng)驗帶來了微束X-射線熒光的幾點創(chuàng)新：
激發(fā)光束的光學(xué)準直器可以獲得***束特別明亮的的微束X-射線照在樣品表面
靈活和精密的樣品定位
***新的X-射線檢測技術(shù)
綜合， 易用的操作界面和應(yīng)用軟件
X-射線束準直
光學(xué)準直
這***革命性的技術(shù)發(fā)出小至 20微米， 強度和精度為傳統(tǒng)儀器的1000倍。 強度的增加可以減少測量時間—比機械準直快100倍并且精度提高10倍。 光學(xué)準直對微束應(yīng)用是極為重要的， 因為高精度和快速對它是基本的。
精密樣品定位
伺服驅(qū)動的樣品臺
為了高精度的樣品定位，MicronX系統(tǒng)采用線性編碼伺服驅(qū)動的X-Y-Z樣品臺。 定位精度可以達到+/-5或+/-2微米。
硅片樣品臺有適合于125 mm至300 mm大小硅片的許多插板選購件， 樣品臺的行程能達到300 mm硅片的任何***點。
專利的真空環(huán)境
Thermo專利的真空導(dǎo)管技術(shù)包括X-射線束發(fā)生和檢測系統(tǒng)， 而樣品在空氣中。 這種獨有的設(shè)計創(chuàng)造了***種和樣品室全部抽真空可以比擬的分辨率和靈敏度， 而且樣品操作快速， 方便。