材料3D實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯微鏡

lyncee+材料3D實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯微鏡+DHM? R2100  

LynceeTec數(shù)字全息顯微鏡DHM 

Digital Holographic Microscopy (DHM) generates, in real-time, high resolution 3D digital images of a sample using the principle of holography. DHM R1000 series Cost-effective sub-nanometer resolution in real-time. 

儀器簡(jiǎn)介 

瑞士Lyncee tec公司的材料3D實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯微鏡DHM R1000 “DHM（Digital Holographic Microscopy）主要應(yīng)用是在MEMS研發(fā)中用于測(cè)量工作，以及在生產(chǎn)線用于缺陷檢測(cè)。與上述用途中現(xiàn)在經(jīng)常使用的共焦顯微鏡相比，在同行分辨率下能夠更高速地進(jìn)行測(cè)量。垂直方向的分辨率為0.6nm，水平方向?yàn)?/span>200nm～300nm（取決于物鏡）。使用1.25倍率的物鏡時(shí)視野為4mm×4mm，可以15幀/秒的速度進(jìn)行測(cè)量。因此，25px見方的試樣幾分鐘即可完成觀察。使用現(xiàn)有共焦顯微鏡時(shí)，同等范圍的觀察則需要幾個(gè)小時(shí)～10小時(shí)。此外產(chǎn)品可將觀察速度擴(kuò)展至1萬幀/秒。由于攝影速度快，因此不需減震臺(tái)，可用來檢測(cè)流水線上的產(chǎn)品。 

照射到試料上的光線與參照光產(chǎn)生的干涉圖案使用CCD相機(jī)，作為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)保存下來，由此算出三維數(shù)據(jù)。計(jì)算三維數(shù)據(jù)時(shí)使用的是專用軟件“Koala Software”。 

主要特點(diǎn):           

            ?非接觸式3D成像 

            ?可進(jìn)行相位測(cè)量

            ?自動(dòng)相干補(bǔ)償

            ?高分辨、實(shí)時(shí)測(cè)量 

技術(shù)規(guī)格   

系統(tǒng)

?測(cè)量技術(shù)：         單波長(zhǎng)透射式數(shù)字全息顯微鏡

?成像類型：         強(qiáng)度及定量相差 (DHM模式)

?光 源：             單波長(zhǎng)激光

?樣品臺(tái)：           手動(dòng)或自動(dòng)XYZ平臺(tái), 行程200mm××100mm×15mm

?相 機(jī)：            1392×1040像素, 8bits

?有效物鏡：       標(biāo)準(zhǔn)顯微物鏡, 長(zhǎng)工作距離物鏡, 油鏡或水鏡 

性能

?縱向分辨率：     10nm

?垂直測(cè)量范圍：  可達(dá)340nm (取決于樣品)

?橫向分辨率：     300nm (1.4NA)

?視場(chǎng)范圍：        4.4mm

?工作距離：        0.3~18mm

?數(shù)字聚焦范圍：  達(dá)到50倍場(chǎng)深

?抓圖時(shí)間：         小于1us

?空間采樣：         1024×1024像素

?采樣速率：         15fps (1024×1024像素)

?單波長(zhǎng)重建速率：15fps (512×512像素), 4fs(1024×1024像素)

?樣品照明：         小于1uW/cm2

?樣品尺寸：   200mm×200mm 

電源要求

?輸入電壓：        85-260VAC, 50/60Hz

?功率：              480W 

重量&尺寸

?顯微鏡部分：     500×500×500mm&34.5kg