SEM兼容原子力顯微鏡
價(jià) 格：詢(xún)價(jià)
產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-01-18 15:18
品 牌：型 號(hào)：EM-AFM
狀 態(tài)：正常點(diǎn)擊量：1873
400-006-7520
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產(chǎn)品特性
· 同步AFM 和 SEM 成像
· 兼容市面上的主流SEM電鏡
· 超高分辨率形貌掃描
· 通過(guò)納米壓痕定量測(cè)量納米力
· 真空載鎖兼容
· 操作穩(wěn)定性高，不受SEM電子束干擾
規(guī)格參數(shù)
| 系統(tǒng)概況 | 系統(tǒng)尺寸 | 100x100x35 |
| SEM載鎖兼容 | 根據(jù)客戶需求提供方案 |
| 可用環(huán)境 | SEM真空環(huán)境兼容 |
| 系統(tǒng)重量 | 400g+SEM/FIB適配器 |
| 樣品運(yùn)動(dòng)臺(tái) | 運(yùn)動(dòng)范圍 | 15x15x5mm |
| 集成編碼器 | 可選 |
| 閉環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨率 | 1nm |
| 運(yùn)動(dòng)速度 | >45mm/s |
| 小范圍掃描器 | 掃描范圍 | 35x35x5μm |
| 集成編碼器 | 有 |
| 閉環(huán)分辨率 | 優(yōu)于0.2nm |
| 掃描速度 | 8μm/s |
| 漂移率 | <2nm/min |
| AFM傳感探頭 | 傳感原理 | 壓阻式 |
| 掃描模式 | 接觸式 |
| 力感應(yīng)分辨率 | 優(yōu)于5nN |
| 成像分辨率 | 優(yōu)于1nm |
| 力傳感范圍 | +/200μN |
應(yīng)用案例
SEM-AFM圖像融合
SEM成像具有高橫向分辨率和掃描速率的優(yōu)勢(shì)，結(jié)合AFM成像提供的三維形貌信息，可獲取新的而又全面的信息
亞納米成像分辨率
全閉環(huán)編碼系統(tǒng)確保在沒(méi)有圖像失真的情況下獲得超高形貌成像分辨率，同時(shí)獲取亞納米成像分辨率。
納米壓痕和拉伸測(cè)試
樣品的納米力學(xué)性能可以在該儀器中通過(guò)納米壓痕和納米拉伸測(cè)試試驗(yàn)技術(shù)進(jìn)行測(cè)量。在SEM電鏡成像下，可實(shí)時(shí)觀測(cè)壓痕和拉伸過(guò)程。專(zhuān)用軟件提供了內(nèi)置的計(jì)算工具，用于分析和顯示獲取的觀測(cè)數(shù)據(jù)。
高真空環(huán)境/SEM兼容
結(jié)構(gòu)緊湊的AFM兼容市面上大部分的SEM和FIB，并能夠在數(shù)秒內(nèi)完成安裝和拆卸。系統(tǒng)允許很小的工作范圍（5mm），同時(shí)兼容標(biāo)準(zhǔn)的SEM分析技術(shù)（如EDS、EBSD、WSD）。
多倫多納米儀器公司（TNI）是多倫多大學(xué)的高科技衍生產(chǎn)品。該公司是為工業(yè)和學(xué)術(shù)研究領(lǐng)域提供完整的納米處理解決方案的提供商。TNI提供了***套納米儀器，包括我們的超精密LifeForce納米操作儀器；SEM兼容的AFM儀器；兼容SEM的納米壓痕儀; 和測(cè)力工具。TNI專(zhuān)***內(nèi)部設(shè)計(jì)和制造尖端的硬件，軟件和末端執(zhí)行器（例如，微型納米夾具，力傳感器），以確保*佳性能和可靠性。TNI提供了現(xiàn)成的系統(tǒng)，并與客戶***起提供定制的解決方案/儀器，以滿足客戶的需求
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