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HORIBA JY在線橢偏儀 In-situ series

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產(chǎn)  地：更新時(shí)間：2021-01-18 16:44

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儀器介紹：
在鍍膜或刻蝕的過程中，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)（n,k）變化。
 
技術(shù)參數(shù)：
?可實(shí)現(xiàn)快速、實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)樣品膜層變化
 
主要特點(diǎn)：
將激發(fā)和探測(cè)頭引入生產(chǎn)設(shè)備，可實(shí)現(xiàn):
? 動(dòng)態(tài)模式:實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚變化
? 光譜模式：監(jiān)測(cè)薄膜的界面和組分


產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹




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