在線橢偏儀 In-situ series
上海非利加實業有限公司
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儀器介紹:
在鍍膜或刻蝕的過程中,實時監測樣品膜的膜厚以及光學常數(n,k)變化。
技術參數:
·可實現快速、實時在線監測樣品膜層變化
主要特點:
將激發和探測頭引入生產設備,可實現:
· 動態模式:實時監測膜厚變化
· 光譜模式:監測薄膜的界面和組分