l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。世界范圍內只有兩***雙頻激光干涉儀的生產商，德***耶拿爾公司是其中的******。
l 全部部件皆在德***生產制造，絕非為了降低成本而在第三方******進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡，是世界上******將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。
l 測量系統采用模塊化設計，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線度），則僅采購所需功能部分的光學部件（直線度光學鏡），其他不需要的功能暫時可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應的部件即可。
l 激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩頻精度高，***小時內為±0.002ppm，在產品壽命內可達±0.02ppm。
l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統精度更高，可達±0.4ppm。
l 計算機輔助光路調整，調整結果更準確。
l 采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l 被測物體速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數據處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。
l 無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩定。
l 信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。
l 對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，*多可實現六軸聯動。
滬公網安備31011502016460號
