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單縱模紫外納秒固體激光器IXION-193

IXION-193是單頻二極管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學(xué)計(jì)量、高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制和193nm波長(zhǎng)的步進(jìn)校準(zhǔn)。光譜帶寬接近理論傅立葉變換極限。中心波長(zhǎng)以0.01nm的精確度從190nm到194nm范圍可選。系統(tǒng)可選內(nèi)置高精度光譜儀，精確度可達(dá)1pm以保證對(duì)激光器調(diào)諧的控制。

 

單縱模紫外納秒固體激光器IXION-193典型參數(shù)

單縱模紫外納秒固體激光器IXION-193特點(diǎn)

? 工業(yè)***的頻率轉(zhuǎn)換，密封封裝 
? 插槽安裝激光二極管泵浦
? 優(yōu)異的TEM₀₀光束形貌
? 脈沖到脈沖之間波動(dòng)小
? 免維護(hù)與熱電溫控管理
? LabVIEW驅(qū)動(dòng)
? 內(nèi)置光譜儀用于波長(zhǎng)實(shí)時(shí)控制

單縱模紫外納秒固體激光器IXION-193應(yīng)用    
                                               
? 193 nm波長(zhǎng)計(jì)量 
? 光譜儀校準(zhǔn)                                                 
? 干涉測(cè)量
? 準(zhǔn)分子激光器的種子注入

脈沖寬度



光譜帶寬

長(zhǎng)時(shí)間功率穩(wěn)定性

光束質(zhì)量