1．技術特征
.采用 DMD 作為數字掩模，像素數 1024×768 或 1920×1080 或 2560x1600 三種選配
.采用縮小投影光刻物鏡成像，分辨力 1um。
.采用技術——積木錯位蠅眼透鏡實現均明。
.采用進口精密光柵、進口電機、進口導軌、進口絲杠實現精確工件定位和曝光拼接，可適應 100mm100mm 基片。
.采用 CCD 檢焦系統實現整場調平、自動逐場調焦或自動選場調焦曝光。
.具備對準功能
2．技術參數
.光源：350W 球形汞燈（曝光譜線： i 線）或紫外 LED；
.照明不均勻性：2%；
.物鏡倍率：7.6 倍（或 14 倍與選擇的 DMD 像素尺寸有關）
.曝光場面積：1mm×0.7mm （或 1.9mm×1.8mm ，或 2.5mm×1.6mm，與選擇的 DMD 像素數有關）
.光刻分辨力：1 μm
.工件臺運動范圍：X：100mm、 Y：100mm；
.工件臺運動定位精度：± 0. 5μm；
.調焦臺運動靈敏度：1μm；
.對準精度：± 2μm；
.調焦臺運動行程：6mm
.檢焦：CCD 檢測，檢測精度 2 微米
.轉動臺行程：±6°以上
.直寫速度：40mm2 /min
基片尺寸
.外徑: Ф1mm—Ф100mm，厚度：0.1mm－－5mm
3．外形尺寸：840mm（長）x450mm(寬) x830mm（高）
4．配置
（1）照明系統
.350W 直流汞燈（或紫外 LED）、橢球鏡、準直鏡、蠅眼透鏡組、場鏡組、365nm 濾光片、氣動快門、DMD（美
***德州儀器）、冷卻風扇。
.投影物鏡 7.6 倍，可根據用戶要求另增加***種.
.分辨力 1m（縮小倍率 7.6 倍）
（2）工件臺系統
.X 臺：電機驅動器（日本樂孜）、絲杠（日本 NSK）、導軌 2（日本 THK）、光柵（美***）
.Y 臺：電機及驅動器（日本樂孜）、絲杠（日本 NSK）、導軌 2（日本 THK）、光柵 2（美***）
.轉動臺：電機及驅動器（日本樂孜），轉動軸系
.Z 臺：電機及驅動器（日本樂孜）、絲杠、上升導向機構
.承片臺：4 英寸（可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等）
（3）檢焦系統
.焦面光學檢測系統、CCD、焦面檢測軟件
（4）對準系統
.對準光學檢測系統、CCD、對準軟件
（5）電控系統
.汞燈電源及觸發器、主機控制系統、軟件、計算機、監視器（19 英寸液晶）、接口（6）氣動系統
.電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
（7）其他附件
.真空泵***臺(無油泵)
.空壓機***臺（靜音泵）
.管道
滬公網安備31011502016460號
