美國 Cascade M150探針臺
價 格:詢價
產(chǎn) 地:更新時間:2021-05-10 13:53
品 牌:其他型 號:
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主要特點
1. 結(jié)構(gòu)簡單、多功能;
2. 平臺配置可滿足DC、RF和亞微米測量;
3. 獨特的模塊化設計可根據(jù)客戶的需要配置和升***;
4. 量程大、可配探針配件;
應用
優(yōu)越的應用靈活性使得M150能滿足DC和RF測量、器件和晶圓表征測試(DWC)、失效分析(FA)、亞微米探測、MEMS和光學工程測量;M150也能用作***個靈活的探頭卡,實現(xiàn)wafer***的可靠性應用(WLR),能同時配備多達20個探針座。
產(chǎn)品參數(shù)
標準平臺規(guī)格參數(shù):
基座 | 基本尺寸 | 含升高板的尺寸 | 面積 | Z軸可移動范圍 |
標準平臺 | 675mm x675mm | 825mm x675mm | 1960cm2 | 5.5mm |
多功能平臺 | 825mm x675mm | 847mm x758mm | 2700cm2 |
|
X-Y-θ平臺 | XY范圍 | *小步長 | θ范圍 | 晶圓范圍 |
真空運行平臺 | 155mm x155mm | 3μm | +/- 60° | 70mm |
標準平臺 | 155mm x155mm | 2μm | +45°(CCW) , - 90°(CW) | 250mm |
快速運行平臺 | 155mm x155mm | 1μm | +45°(CCW) , - 90°(CW) | 275mm |
DUT支架 | 卡盤 | 基底 | 平整度 | 三軸接頭 | 絕緣層 | 附加卡盤 |
150mm卡盤 | 150mm真空卡盤 | 晶圓,陶瓷 | <10μm | Yes | >100GΩ | 2個獨立的卡盤,且還有一個附加卡盤 |
PCB | 150mm寬支架 | PCB,移動裝置 | NA | NA | NA | NA |
顯微鏡支架 | 移動范圍(XY) | Z方向 | *小步長 |
臂式支架 | >150mm x 150mm | NA | NA |
LAHS顯微鏡支架 | 150mm x 150mm | 可選,為100mm | 2μm |
產(chǎn)品介紹
Cascade M150探針臺
用于實現(xiàn)靈活性和不打任何折扣之精度的新標準
Cascade Microtech 的 M150測量平臺是***款結(jié)構(gòu)簡單、多功能、及高性價比的150mm基準的探針臺,解決了***系列的測量難題。該探針臺采用了***種模塊化設計,提供了眾多的配置可能性,旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。M150 可提供三種預配置的探針臺,均針對您的應用及預算而優(yōu)化。您可以通過確定*適合自己當前需要的 M150 模塊來設計特有的探針臺,或?qū)ψ约含F(xiàn)用的 M150 進行升***以滿足未來的測量需求。