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SU8020發射掃描電鏡

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-18 15:20

品  牌:型  號:SU8020

狀  態:正常點擊量:2099

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SU8020--日立新型高分辨場發射掃描電鏡SU8000系列

 


產品介紹:

日立新型高分辨場發射掃描電鏡SU8000系列--SU8020

 

    日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場發射掃描電鏡,其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm,并且在探測器設計上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三個Everhart-Thornley型探測器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號,實現微區的形貌襯度、原子序數襯度、結晶襯度和電位襯度的觀測;結合選配的STEM探測器,還可以實現明場像和暗場像的觀測;此外在半導體應用中,還可以安裝EBIC探測器,采集感生電流圖像,極大豐富了信號的采集,對樣品的信息的收集達到了新的高度。

特點:
1. ***的低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達1.3nm
2. 日立的ExB設計,不需噴鍍,可以直接觀測不導電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個Everhart-Thornley型探測器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能
6. 標配有冷指、電子槍內置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成 

 

項目SU8020SU8030SU8040
二次電子分辨率1.0nm (加速電壓15kV、WD=4mm)
1.3nm (加速電壓1kV、WD=1.5mm)
加速電壓0.1~30kV
觀測倍率20~8000,000(底片輸出)
60~2,000,000(顯示器輸出)
樣品臺
馬達驅動5軸REGULUS樣品臺
行程X0~50mm0~110mm
Y0~50mm0~110mm0~80mm
Z360°
T-5~70°
R1.5~30mm1.5~40mm
裝載尺寸100mm()150mm()150mm()
150mm(選配)200mm(選配)
探頭
標配Lower高立體感圖像
Upper高分辨SE、LA-BSE圖像
TopSE的電位襯度像、HA-BSE圖像
 
選配
STEM明場像、暗場像
YAG 探頭BSE圖像
半導體探頭BSE圖像
EBIC 電子束感生電流圖像
EDS元素分析
反污染措施
冷指標配
物鏡光闌內置自清潔功能
電子槍內置加熱器
真空系統
離子泵3臺
分子泵1臺
機械泵1臺
 



產品參數


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